3月25日，盛剑科技国产半导体制程隶属设备及要害零部件项目（一期）正式投产。

  此前，为进一步深化在半导体工业链的布局，盛剑科技与嘉定工业区办理委员会签定出资协议。项目用地约27728.6平方米，方案总出资约6亿元，致力于打造一个集研制、制作、出售和维保服务为一体的国产先进半导体隶属设备及要害零部件渠道。

  上海盛剑科技股份有限公司副总经理聂磊介绍：“盛剑科技国产半导体制程隶属设备及要害零部件项目是咱们在半导体工业链的延伸布局，有助于进步国产半导体制程隶属设备及要害零部件的出产才能、运维才能和工业竞争力。”

  据介绍，该项目首要出产的根本工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等。这些设备在半导体制程中发挥着要害作用，可以辅佐操控半导体制程设备的反响腔，使其满意刻蚀、离子注入、分散及薄膜堆积等工艺的环境要求。

  聂磊表明：“现在，咱们环绕半导体先进制程前瞻工艺，继续展开研制技能攻关，在真空、温控，包含新式抛弃净化处理的要害技能方面完成多项打破，未来将有更多迭代产品在新工厂下线投产。”

  此外，该项目在规划之初就将数字化、智能化和绿色化写进了工厂的“基因”里，方针打造规模化的绿色才智工厂。聂磊表明：“在整个出产的悉数过程中，咱们尽可能进步自动化水平。例如，在房顶装置光伏体系以完成低碳办理。后续还将引进更多自动化测验线，深层次地交融数字化、智能化和绿色化。”

  当时，嘉定区正大力支撑企业智能化和绿色化展开。一方面，修订出台区级技改方针，下降项目门槛，进步奖赏上限，支撑公司进行智能化改造和数字化转型，方案年内培养20家以上智能工厂；另一方面，鼓舞企业推广先进绿色技能，展开节能技能改造和绿色工厂建造，推进循环经济展开。